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立式真空泵结构探索

滑阀泵的结构型式有立式和卧式二种。立式结构在新设计的泵中已鲜有使用，但它也有一定的自身特点：泵在运转中向前(后)的冲击力比较小，绝大部分冲击力在上、下的方向上，运转中泵产生的前、后晃动很小。利用这一特点，只要配置合适的减振器或减振垫，就可有效减振和隔振。

　　我们曾对H-8A 滑阀泵进行振动测试，振动测试的数据也充分说明了这一点。结合上述情况，设想将电机和油气分离器分别设置在泵的前、后侧，设计成背包式，降低泵的重心，并在泵的底脚加减振垫，也许可能成为立式滑阀泵今后的一个发展方向。

国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，无油干式螺杆真空泵，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。

国内建成的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵(包括其它真空设备)均为进口，主要来自英国、日本、德国、美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，刚一起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外，在加工制造、技术水平、质量状况等各方面不含有优势，螺杆真空泵，国外各国的产品经过几年的较量，单螺杆真空泵，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，没有了发展的动力，进步缓慢。业内*一致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，寿力螺杆真空泵，首先进入食品、化工、医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。目前国内分子泵应健全系列并开发多品种，如低温分子泵、复合分子泵等，逐渐扩展市场。