日上真空包装设备(图)_双隔膜真空泵_隔膜真空泵

卧式滑阀真空泵结构探索

卧式结构一般资料介绍，都认为它的重心低、振动小，实际上并非如此。目前较常用的结构形式是在卧式泵体上面设置油箱(内设油气分离器)，再在油箱上安装电机(图1)，这样占地面积是小了，但它的整体重心就提高了，因此对于泵的振动是非常不利的。

　　我们采取将卧式泵体的贮油腔适当放大，油气分离器改作悬挂式，电机直接安装在泵体上部，泵的整体高度可降低1/3 左右，这样就形成了

　　整体高度**低的结构型式，大大降低了泵的重心，对降低振动非常有利，见图2。这样的结构还可使泵的进气口位置由侧面转移到泵体上方，减少了泵进口处油的飞溅，有利于进气管路的设置;此结构也可以使泵排气阀的罩板外露，有利于排气阀的安装和检修;悬挂式油气分离器使我们有了充分的空间，有利于油气分离结构的研究和改进，对于节能和减少、消除喷油以及消除油烟、避免环境污染有较其重要的意义。

国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。

国内建成的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵(包括其它真空设备)均为进口，主要来自英国、日本、德国、美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，进口隔膜真空泵，刚一起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外，在加工制造、技术水平、质量状况等各方面不含有优势，国外各国的产品经过几年的较量，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，as01无油隔膜真空泵，没有了发展的动力，隔膜真空泵，进步缓慢。业内*一致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，首先进入食品、化工、医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。目前国内分子泵应健全系列并开发多品种，如低温分子泵、复合分子泵等，逐渐扩展市场。