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爪型干式真空泵

爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。爪型干式真空泵的结构，一般采用多级转子串联，或罗茨转子与多级转子串联的形式，组成多级爪型干式真空泵。

　　爪型干式真空泵的特点

　　(1) 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染;

　　(2)真空度高，可达3Pa;

　　(3) 结构简单，2c旋片式真空泵，易于操作和维护，运行成本低;

　　(4)能在较高压力下长期连续工作，15旋片式真空泵，噪声小;

　　(5) 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体(例如水蒸气、**气体等);

　　(6) 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105;

　　(7)转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用 寿命长。

　　爪型干式真空泵的应用

　　(4)科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

　　(5)电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

　　(6)**航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

　　(7)冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

　　(8)核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体。

1)水环真空泵。适用于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保险、真空储藏、真空输送、真空成型等工艺。

　　2)往复真空泵。适用于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空干燥、钢液真空处理等工艺。往复真空泵与水环真空泵使用的工艺基本相同。但是。往复真空泵不能直接抽水蒸汽，需要抽水蒸气时一定要配备冷阱，采用制冷压缩机系统冷却。

　　3)油封机械真空泵(包括滑阀泵、旋片泵、定片泵)。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵(如普旭真空泵)，做为直排大气的前级泵，旋片式真空泵，使用的量大面广。

　　4)罗茨真空泵(机械增压泵)。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。

　　5)油增压泵。适用于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理等工艺中使用。它与机械增压泵相类似，不能直排大气，必须用旋片泵或滑阀泵等作为前级泵。

　　6)油扩散泵。适用于真空镀膜、真空热处理、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、电子真空器件、真空分析仪器、真空检漏仪、宇宙空间真空模拟装置、真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空使用，本身不能直排大气，必须配备前级真空泵。

　　7)干泵(包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵)。适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用，这几种泵都能直排大气。

　　8)吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。

　　9)钛泵(包括溅射离子泵、升华泵)。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和**导技术等工作中使用。

　　10)分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。

　　11)水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、造纸、制糖、食品、制砖和真空除氧等工艺领域中使用。

　　12)水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等工艺中使用