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尽快形成分子泵和干泵的规模生产

     尽快形成分子泵和干泵的规模生产。真空泵根据预测，到2016年我国将成为世界上*二大半导体集成电路市场，总需求量约1000亿块，达到1000亿美元以上的总金额，需要建30多条大生产线才能满足需求。30条生产线所需干式真空泵大约15000台，是目前我国真空泵年产量的1／10左右。

国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流泵、水环真空泵等，且全部用于传统产业，我国生产的真空泵用于电子信息产业不足1％，与日本、欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段，在全国200多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不足10家，年产量不足1000台。没有形成批量生产。

卧式结构一般资料介绍，都认为它的重心低、振动小，实际上并非如此。目前较常用的结构形式是在卧式泵体上面设置油箱(内设油气分离器)，再在油箱上安装电机(图1)，这样占地面积是小了，但它的整体重心就提高了，因此对于泵的振动是非常不利的。

　　我们采取将卧式泵体的贮油腔适当放大，朝阳真空泵，油气分离器改作悬挂式，电机直接安装在泵体上部，泵的整体高度可降低1/3 左右，“杭州”真空泵，这样就形成了

　　整体高度**低的结构型式，大大降低了泵的重心，对降低振动非常有利，见图2。这样的结构还可使泵的进气口位置由侧面转移到泵体上方，减少了泵进口处油的飞溅，有利于进气管路的设置;此结构也可以使泵排气阀的罩板外露，有利于排气阀的安装和检修;悬挂式油气分离器使我们有了充分的空间，有利于油气分离结构的研究和改进，对于节能和减少、消除喷油以及消除油烟、避免环境污染有较其重要的意义。